单振子双腔体压电薄膜泵的研究

• 作者: 张德君 曾平 杨志刚 程光明
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 压电薄膜泵 双腔体 单振子
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简讯
• 页码范围: 380-382
• 页数: 3页
• 分类号: TH38
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2007.03.026

摘要

利用雕刻技术,以有机玻璃为原材料,加工制作了一种可双向工作的单振子双腔体压电薄膜泵,并对该结构压电泵的工作原理进行了阐述.通过对单振子双腔体压电薄膜泵的输出流量和压力的测试,得出在输入100V正弦交流信号时,它的最佳工作频率为20 Hz,输出流量为785 mL/min,输出压力为14 kPa,表明单振子双腔体压电泵在低频工作时,其输出流量优于单振子单腔体压电泵,而且能够提高机械转化效率,工作过程无脉动现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械科学与工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	曾平	吉林大学机械科学与工程学院	83	1053	18.0	28.0
4	张德君	吉林大学机械科学与工程学院	4	37	2.0	4.0