沉积硬质涂层技术的新发展

• 作者: 王福贞
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质涂层 电弧离子镀 磁控溅射镀 气体离子源
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 13-19
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 字数: 5685字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.04.003

摘要

本文介绍了新型硬质涂层和硬质涂层沉积技术中电弧离子镀和磁控溅射镀技术的新进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王福贞	北京联合大学机电学院	6	24	2.0	4.0