微型复合溅射离子泵的设计研究

• 作者: 胡银富 陈旭 齐京
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空器件 溅射离子泵 非蒸散型吸气剂
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TN1
• 字数: 2488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.01.005

摘要

本文介绍了一种非蒸散型吸气剂(NEG)与微型溅射离子泵(SIP)集成构成的微型复合溅射离子泵.测试结果表明,当吸气剂激活后,复合泵的抽速达到0.45 L/s,比未加吸气剂的同型溅射离子泵抽速提高了28%.该复合泵使真空器件的真空维持效果良好,可广泛应用于中小型的密闭真空器件中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭	清华大学电子工程系	71	482	10.0	20.0
2	胡银富	清华大学电子工程系	1	2	1.0	1.0
3	齐京	清华大学电子工程系	14	101	6.0	9.0