用于表面编码器的正弦波栅格的热模压制

• 作者: 卢永晨 平林龙太郎 新井义一 高伟
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复制 测量表面 纳米测量 聚合物
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.02.006

摘要

本文介绍了在多自由度纳米定位中,作为表面编码器测量基准的正弦波栅格的复制方法.该栅格表面的形貌为空间正弦波,即沿x和y方向均为波长100 μm,振幅100 nm的正弦波.这种栅格表面的大小为几十微米至几百微米.在安装了快速刀具伺服机构的金刚石车床上,制成了铝基栅格表面.该加工系统的优点是能够以高精度形成被加工表面,但另一方面,由于是在大面积内形成微观表面,故加工时间较长.为了实现快速制作,进行了基于基表面的复制,栅格表面的复制采取了热模压制法,在高分子薄膜上进行了实验.