两种离子束方法制备Cr膜的分析研究

• 作者: 代海洋 王治安 黄宁康
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 动态离子束混合 Cr膜 附着力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 32-35,50
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.5
• 字数: 2808字
• 语种: 中文

摘要

在室温下,采用离子束溅射同时经100 keV Ar+离子轰击的动态离子束混合技术和采用离子束溅射技术这两种方法制备Cr膜,并用XPS,SEM及AES对薄膜的结构、表面形貌、薄膜与基体附着力的影响等进行分析对比.结果表明,与离子束溅射技术制备的Cr膜相比较,动态离子束混合技术制备的Cr膜表面平滑,膜致密呈无气隙的柱状结构,且薄膜元素与基体元素混合形成的组分过渡层较宽,因而有效地提高了Cr膜的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代海洋		3	6	2.0	2.0
2	王治安		2	4	1.0	2.0
3	黄宁康		5	37	3.0	5.0