电子束辐照制作光波导技术研究进展

• 作者: 张国生 张玉宝 王成 王政平 马任德
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电子辐照 光波导 二氧化硅
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TN256
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.07.002

摘要

概述了采用电子束辐照制作光波导技术的研究历史,给出电子辐照对SiO2产生作用的机理、样品中原子错位的阈值、电子辐照深度的计算方法,分析了不同能量电子辐照产生折射率变化的原因,给出了低能电子辐照导致SiO2折射率变化的计算及测量方法,介绍了用电子束辐照制作光波导的进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王政平	哈尔滨工程大学理学院	92	841	16.0	24.0
2	张玉宝	黑龙江省科学院技术物理研究所	49	139	6.0	8.0
3	张国生	哈尔滨工程大学理学院	20	63	5.0	6.0
7	王成	哈尔滨工程大学理学院	23	128	7.0	10.0
8	马任德	哈尔滨工程大学理学院	4	17	3.0	4.0