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原文服务方: 工业水处理       
摘要:
通过对集成电路工厂废水种类、成分和原有废水处理工艺及原理的分析,以及对废水处理系统投入运行以来在工艺、设备、控制等方面存在诸多问题的研究,经过比较和分析,采用日本富士化水公司开发的用于处理半导体工业废水的专利技术--Heldy-F法,并对原有废水处理工艺进行了技术改造,改造后系统运行稳定,出水水质达到国家标准,运行成本降低,取得了良好的效果.
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文献信息
篇名 含氟废水处理工艺的技术改进
来源期刊 工业水处理 学科
关键词 集成电路 含氟废水 电镀废水
年,卷(期) 2007,(6) 所属期刊栏目 经验交流
研究方向 页码范围 84-86
页数 3页 分类号 X703.1
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1005-829X.2007.06.028
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作者信息
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
含氟废水
电镀废水
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工业水处理
月刊
1005-829X
12-1087/X
大16开
1981-01-01
chi
出版文献量(篇)
7499
总下载数(次)
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总被引数(次)
80130
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