SU-8环氧树脂的分离实验研究

• 作者: 周崇喜 姚汉民 张晓玉 邢廷文
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8光刻胶 SU-8环氧树脂 柱层析法 尺寸排阻色谱法
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 13-15,33
• 页数: 4页
• 分类号: TN204
• 字数: 1679字
• 语种: 中文

摘要

为分析和解决商业用SU-8胶在355 nm波长的吸收性和后烘缩胶等问题,先采用柱层析对SU-8环氧树脂进行分离,然后进一步用高压液相色谱-尺寸排阻色谱法对SU-8环氧树脂进行分离和分析.结果表明,SU-8环氧树脂包括SU-1,SU-2,SU-4,SU-6和SU-8多种组分及其它杂质,分子量分布在100-100 000的范围.根据分析结果,研究了上述问题出现的原因,并配制了性能优化的SU-8光刻胶,结合全息光刻技术制作了三维光子晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚汉民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	44	355	9.0	16.0
2	周崇喜	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	28	264	10.0	15.0
3	邢廷文	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	67	501	11.0	17.0
4	张晓玉	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	49	5.0	7.0