聚合物前驱体转化法制备陶瓷微机电系统

• 作者: 宋家乐 景晨丽 王汝敏 陈伟伟 陈立新
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加工技术 聚合物前驱体 陶瓷
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 41-44,50
• 页数: 5页
• 分类号: TQ050.4|TM38
• 字数: 2682字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.01.011

摘要

陶瓷材料作为一种在高温和腐蚀等苛刻环境中应用的重要材料,对其制备和加工技术进行研究是非常必要的.本文在简要概述传统微机电系统(MEMS)加工技术对制备陶瓷MEMS存在的不足基础上,着重介绍了由聚合物前驱体转化法制备陶瓷MEMS的制备方法、工艺流程、优缺点及未来发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王汝敏	西北工业大学院应用化学系	164	2057	24.0	36.0
2	陈立新	西北工业大学院应用化学系	84	1145	18.0	31.0
3	景晨丽	西北工业大学院应用化学系	11	94	5.0	9.0
4	宋家乐	西北工业大学院应用化学系	24	198	8.0	13.0
5	陈伟伟	西北工业大学院应用化学系	10	100	5.0	10.0