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摘要:
采用PECVD技术,在玻璃衬底上沉积μc-Si:H薄膜.用拉曼光谱、SEM和UV分光光度计对不同沉积温度下沉积的薄膜的结构特性进行分析.研究发现:沉积温度较低时,随着沉积温度的升高,薄膜的晶化率增加;当沉积温度超过某一温度值时,随着温度的进一步升高,薄膜的晶化率降低.这时,表面反应由表面扩散限制转变为流量控制.该温度值随着硅烷含量的降低而降低.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 沉积温度对微晶硅薄膜结构特性的影响
来源期刊 物理学报 学科 化学
关键词 氢化微晶硅薄膜 拉曼散射谱 晶化率 UV分光光度计
年,卷(期) 2007,(7) 所属期刊栏目 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
研究方向 页码范围 4122-4126
页数 5页 分类号 O6
字数 2710字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.07.080
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 谷锦华 郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室 25 103 6.0 8.0
2 郜小勇 郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室 52 301 10.0 14.0
3 陈永生 郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室 67 484 11.0 19.0
4 杨仕娥 郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室 68 513 12.0 18.0
5 卢景霄 郑州大学物理工程学院材料物理重点实验室 100 570 12.0 17.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
氢化微晶硅薄膜
拉曼散射谱
晶化率
UV分光光度计
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
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