CNT—FED阴极结构的高精度制作工艺

• 作者: 李勇军（译）
• 来源期刊: 显示器件技术
• 学科: 工学
• 关键词: 制作工艺 阴极结构 CNT FED 高精度 工艺制作 丝网印刷 场致发射
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TN873

摘要

碳纳米管（CNT）场致发射的阴极结构通常用丝网印刷和光刻的工艺制作。此工作中，为提高制作精度和降低制作成本，用现有的CNT层作底部曝光的掩模版，用感光性介质浆料将电介质上的孔精确地直接制作在CNT发射体之上，从而避免了烧结收缩和光刻偏移引起的误差，本文以10＂一般三级结构的FED作为例子说明此工艺。