单芯片加速度计陀螺仪结构设计与分析

• 作者: 刘俊 石云波 马宗敏
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单片集成 加速度计陀螺仪 结构设计 仿真
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 微/纳工艺、材料与器件
• 页码范围: 913-917
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 3566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.10.022

摘要

提出了一种单质量块单轴集成加速度计陀螺仪(AG)结构,并利用力学、电磁学等原理对该结构进行了结构的设计与分析;同时运用计算机辅助软件对其进行了建模和仿真;依据所提指标,确定了加速度计陀螺仪各项尺寸.借助原理和仿真分析可以知道,该加速度计陀螺仪(AG)单轴敏感同一方向线加速度和角速度,结构简单、合理,在现有加工水平下实现了可加工性;该结构驱动方向和线速度和角速度检测方向相互交叉耦小,同时简化了后续处理电路.研究结果为加速度计陀螺仪的进一步研究提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石云波		108	610	14.0	20.0
2	马宗敏		16	19	2.0	3.0