纳米多层膜的研究进展

• 作者: 肖晓玲
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 纳米多层膜 调制波长 硬度 内应力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-10
• 页数: 10页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2007.01.001

摘要

综述了纳米多层膜的研究进展,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类、制备方法及结构和成分的检测手段,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖晓玲	广州有色金属研究院材料表面工程中心	4	40	3.0	4.0