洁净厂房正压控制问题讨论

• 作者: 潘国华 王铁坤 蒋茂
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净厂房 洁净度 温湿度 正压 过滤器
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2007.05.010

摘要

文章重点探讨了洁净厂房的正压值的控制问题,讨论了正压值与洁净度以及温度湿度之间的关系.根据现有洁净厂房的生产条件,分析了正压值和洁净度以及温湿度不能达标的具体原因.探索了实际生产中正压值控制的方法,并验证了其可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王铁坤		3	3	1.0	1.0
2	蒋茂		1	1	1.0	1.0
3	潘国华		1	1	1.0	1.0