一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析

• 作者: 卢云 徐志农 车录锋
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 高量程加速度计 频率分析 灵敏度分析
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 404-408
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|O343
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.03.011

摘要

提出一种铰链式结构的高量程加速度传感器,该结构可使加速度传感器在保持一定灵敏度的情况下大大提高器件固有频率,从而在更宽的频带内真实地反映冲击过程的加速度信号波形.建立简化模型和改进模型分析该加速度计的力学性能,并用ANSYS模拟验证两种模型的计算结果.其中改进模型考虑了质量块的变形以及梁和铰链的质量影响,提高了器件固有频率的计算精度,计算结果更接近于ANSYS分析结果.最后由模拟分析数据得出该加速度计结构参数的优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐志农	浙江大学机械与能源工程学院	34	260	9.0	14.0
2	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
3	卢云	浙江大学机械与能源工程学院	3	17	2.0	3.0