多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响

• 作者: 吴月花 李志国 李秀宇 郭春生
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 互连线 蓄水池效应 电迁移
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 452-456
• 页数: 5页
• 分类号: TN32
• 字数: 3022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.115

摘要

在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔数目对互连线电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴月花	北京工业大学电子信息与控制工程学院	7	15	2.0	3.0
2	李志国	北京工业大学电子信息与控制工程学院	57	418	12.0	18.0
3	郭春生	北京工业大学电子信息与控制工程学院	44	302	10.0	15.0
4	李秀宇	北京工业大学电子信息与控制工程学院	5	8	2.0	2.0