双层螺旋RF MEMS电感的模拟与设计

• 作者: 廖小平 武锐
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 双层电感 Q值 CMOS后处理
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1563-1566,1570
• 页数: 5页
• 分类号: TM55|TN305
• 字数: 2899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.05.010

摘要

分析了双层螺旋电感的等效电路模型,研究了一种与传统CMOS工艺兼容的MEMS工艺,通过腐蚀电感结构下的硅衬底使电感悬空.利用HFSS软件对一些双层螺旋微电感进行了模拟,模拟结果表明,相比传统单层电感,双层电感可以减少60%的芯片面积,10 nH的电感也只需要很小的面积,经过MEMS后处理的双层螺旋电感的最大Q值都超过了20.