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摘要:
主要介绍了椭偏仪的测量原理,比较了不同结构的椭偏仪,并根据具体应用需求介绍了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪,分析了椭偏仪的数据处理过程,最后展望了椭偏仪的发展趋势.
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光谱型椭偏仪
各向异性
折射率
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 椭偏仪的研究进展
来源期刊 激光与光电子学进展 学科 工学
关键词 椭偏仪 膜厚 折射率
年,卷(期) 2007,(3) 所属期刊栏目 测量与计量
研究方向 页码范围 43-49
页数 7页 分类号 TH74
字数 5339字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王向朝 中国科学院上海光学精密机械研究所 170 1628 23.0 35.0
2 步扬 中国科学院上海光学精密机械研究所 37 199 7.0 14.0
3 杨坤 中国科学院上海光学精密机械研究所 23 338 11.0 18.0
传播情况
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引文网络
引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
椭偏仪
膜厚
折射率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光与光电子学进展
半月刊
1006-4125
31-1690/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号(上海市800-211信箱)
4-179
1964
chi
出版文献量(篇)
9127
总下载数(次)
28
总被引数(次)
35767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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