高性能导电薄膜的制备

• 作者: 张树人 郭太良 陈国良
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 附着性 氧化 晶粒 电学性能
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.03.007

摘要

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了Cr-Cu-Al-Cr薄膜,用焊接法测试薄膜附着性能,用x射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对薄膜进行表征,研究溅射过程中以及在高温大气环境下薄膜的防氧化方法,分析薄膜晶粒大小与电性能关系,制备出性能较好的导电膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭太良	福州大学物理与通信工程学院	302	1102	15.0	21.0
2	张树人	福州大学物理与通信工程学院	2	5	1.0	2.0
3	陈国良	福州大学物理与通信工程学院	3	29	2.0	3.0