半导体晶圆生产系统瓶颈识别与管理对策

• 作者: 杨丽艳 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 系统瓶颈 瓶颈识别 瓶颈漂移 瓶颈管理
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 现代管理
• 页码范围: 1021-1024
• 页数: 4页
• 分类号: TN406.2
• 字数: 4498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.12.003

摘要

瓶颈资源决定着系统的产出,对瓶颈资源进行有效地管理对于资金密集的半导体晶圆生产系统具有重要的意义.由于系统波动的存在,系统瓶颈漂移现象无法避免,所以将多重入半导体晶圆生产系统瓶颈分为长期、中期、短期瓶颈,提出了识别三种系统瓶颈的方法.分析了瓶颈漂移问题产生的主要原因,同时对各个主要原因提出了相应的管理对策,最后提出了晶圆生产系统的瓶颈管理模式,并详述该管理模式之流程及其瓶颈设备缓冲管理机制.