光弹调制式反射差分光谱仪的理论分析

• 作者: ZEPPENFELD Peter 孙立东 李艳宁 胡小唐 胡春光
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱测量 反射差分光谱仪 Jones 矩阵 光弹调制
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.2
• 字数: 3295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.01.001

摘要

反射差分光谱仪是一种测量灵敏度和精度较高的研究表面/界面的新型分析仪器,但微弱的反射差分信号易受到各种噪声的干扰.作者利用Jones表示法,对光弹调制式反射差分光谱仪构建了包含器件自身缺陷和安装误差的数学模型,通过确立误差源与测量结果的联系,分析出各误差源对测量结果的影响,特别是起偏器、光弹调制器和样品的安装误差以及位相调制误差,这些系统误差经过标定可得到补偿.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	李艳宁	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	45	211	8.0	11.0