细长小孔超精密自动测量系统研究及其精度分析

• 作者: 刘笃喜 朱名铨 柴艳波
• 来源期刊: 液压与气动
• 学科: 工学
• 关键词: 细长小孔 孔径 气动量仪 精密测量 精度分析
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 主机应用
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TB22|TP212
• 字数: 1690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4858.2007.08.019

摘要

针对细长小孔孔径难以实现超精密测量这一问题,提出了一种应用气动量仪对细长小孔进行超精密测量的新方法,并根据气动量仪的测量特点,设计了细长小孔超精密自动测量系统,深入分析了该测量系统的精度影响因素.该系统由测量、运动控制和数据处理三部分组成,可实现对细长小孔的孔径、圆度和圆柱度等的非接触精密测量,测量精度可达0.5 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱名铨	西北工业大学机电学院	58	993	19.0	28.0
2	刘笃喜	西北工业大学机电学院	40	313	9.0	15.0
3	柴艳波	西北工业大学机电学院	2	11	2.0	2.0