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• 来源期刊: 电源技术应用
• 学科: 经济
• 关键词: 设备系统 半导体芯片 技术密集型 保障 电源 国际 生产过程 半导体制造
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 35
• 页数: 1页
• 分类号: F276.3

摘要

由于半导体制造机台设备极为昂贵，不少设备价值高达几百万美元，并且性能极为精密，对工作条件的要求也非常苛刻。半导体芯片制造企业更是资本密集、技术密集型产业，芯片制造厂也是公认的生产最为复杂的工厂之一。其生产过程有许多异于传统的工艺特性。例如工件再回流现象、成批加工、作业等候时限、高良率的要求、机台宕机率等，以至于一般都将交货期不准，在制品过高，周期过长等问题归咎于其生产管理的复杂性及设备系统的不稳定。而电能作为这些昂贵的、极精密的、工作条件非常苛刻的机台设备的“血流”——动力源，其任何微小变化都可能引起这些机台设备的异常状态，从而导致大的损失。