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摘要:
针对SU-8光刻胶应用于三维光子晶体的制作研究,本文提出并实现了对SU-8光刻胶的重要成分SU-8环氧树脂采用柱层析和高压液相色谱-尺寸排阻色谱法进行分离,分离结果表明SU-8环氧树脂分子量分布范围很大,从大约100~100000,包括SU-1、SU-2、SU-4、SU-6、SU-8多种组分及其混合物.采用分离后的SU-8和SU-6纯组分配制了性能优化的SU-8光刻胶,并总结了其最佳光刻工艺,结合干涉光刻技术制作了晶格常数为922nm的三维面心立方光子晶体结构.
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文献信息
篇名 SU-8光刻胶制作三维光子晶体
来源期刊 光电工程 学科 工学
关键词 SU-8光刻胶 三维光子晶体 柱层析 尺寸排阻色谱法
年,卷(期) 2007,(8) 所属期刊栏目 微光学
研究方向 页码范围 28-31
页数 4页 分类号 TP305
字数 2537字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.08.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘强 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 235 4502 28.0 60.0
2 姚汉民 44 355 9.0 16.0
3 周崇喜 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 28 264 10.0 15.0
4 邢廷文 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 67 501 11.0 17.0
5 高洪涛 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 17 72 6.0 8.0
6 张晓玉 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 7 49 5.0 7.0
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研究主题发展历程
节点文献
SU-8光刻胶
三维光子晶体
柱层析
尺寸排阻色谱法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电工程
月刊
1003-501X
51-1346/O4
大16开
四川省成都市双流350信箱
1974
chi
出版文献量(篇)
4776
总下载数(次)
5
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导