钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
任务中心
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
无线电电子学与电信技术期刊
\
光电工程期刊
\
SU-8光刻胶制作三维光子晶体
SU-8光刻胶制作三维光子晶体
作者:
刘强
周崇喜
姚汉民
张晓玉
邢廷文
高洪涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
SU-8光刻胶
三维光子晶体
柱层析
尺寸排阻色谱法
摘要:
针对SU-8光刻胶应用于三维光子晶体的制作研究,本文提出并实现了对SU-8光刻胶的重要成分SU-8环氧树脂采用柱层析和高压液相色谱-尺寸排阻色谱法进行分离,分离结果表明SU-8环氧树脂分子量分布范围很大,从大约100~100000,包括SU-1、SU-2、SU-4、SU-6、SU-8多种组分及其混合物.采用分离后的SU-8和SU-6纯组分配制了性能优化的SU-8光刻胶,并总结了其最佳光刻工艺,结合干涉光刻技术制作了晶格常数为922nm的三维面心立方光子晶体结构.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
微扑翼飞行器
SU-8
MEMS
仿生机器人
SU-8光刻胶应变分布光学全场检测方法
剪切散斑干涉
SU-8 光刻胶
应力分布
应变
仿真模拟
基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备
三维微阵列
斜光刻技术
SU-8光刻胶
比表面积
SU-8胶深紫外光刻模拟
SU-8胶
光刻模拟
显影轮廓
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
SU-8光刻胶制作三维光子晶体
来源期刊
光电工程
学科
工学
关键词
SU-8光刻胶
三维光子晶体
柱层析
尺寸排阻色谱法
年,卷(期)
2007,(8)
所属期刊栏目
微光学
研究方向
页码范围
28-31
页数
4页
分类号
TP305
字数
2537字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1003-501X.2007.08.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘强
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
235
4502
28.0
60.0
2
姚汉民
44
355
9.0
16.0
3
周崇喜
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
28
264
10.0
15.0
4
邢廷文
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
67
501
11.0
17.0
5
高洪涛
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
17
72
6.0
8.0
6
张晓玉
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
7
49
5.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(8)
节点文献
引证文献
(10)
同被引文献
(6)
二级引证文献
(13)
1987(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
1990(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1991(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2007(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2008(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2010(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2011(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2012(4)
引证文献(4)
二级引证文献(0)
2013(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2014(5)
引证文献(0)
二级引证文献(5)
2015(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2016(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2017(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2019(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
SU-8光刻胶
三维光子晶体
柱层析
尺寸排阻色谱法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电工程
主办单位:
中国科学院光电技术研究所
中国光学学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1003-501X
CN:
51-1346/O4
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市双流350信箱
邮发代号:
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
4776
总下载数(次)
5
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
相关文献
1.
基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
2.
SU-8光刻胶应变分布光学全场检测方法
3.
基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备
4.
SU-8胶深紫外光刻模拟
5.
聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究
6.
一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
7.
SU-8胶光刻工艺研究
8.
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
9.
石墨烯/SU-8复合导电光刻胶的制备及传感应用
10.
后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响
11.
金属晶体教学的三维动画制作与应用
12.
SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究
13.
基于BP神经网络的SU-8光刻胶工艺参数优选研究
14.
UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
15.
立体光刻技术制备三维光子晶体
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
任务中心
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
光电工程2022
光电工程2021
光电工程2020
光电工程2019
光电工程2018
光电工程2017
光电工程2016
光电工程2015
光电工程2014
光电工程2013
光电工程2012
光电工程2011
光电工程2010
光电工程2009
光电工程2008
光电工程2007
光电工程2006
光电工程2005
光电工程2004
光电工程2003
光电工程2002
光电工程2001
光电工程2000
光电工程2007年第9期
光电工程2007年第8期
光电工程2007年第7期
光电工程2007年第6期
光电工程2007年第5期
光电工程2007年第4期
光电工程2007年第3期
光电工程2007年第2期
光电工程2007年第12期
光电工程2007年第11期
光电工程2007年第10期
光电工程2007年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号