模具钢表面连续激光沉积TiN类薄膜的研究

• 作者: 段来根 葛柏青 郎荣兴
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 模具钢 激光化学气相沉积 薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 7-9,14
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2007.01.003

摘要

利用波长为10.6 μm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜.采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构.实验表明,当激光功率为600W,扫描速度为2 mm/s时,通过H2、N2和TiC14之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段来根	常州机电职业技术学院模具技术系	13	18	3.0	4.0
2	葛柏青	常州机电职业技术学院模具技术系	7	16	3.0	4.0
3	郎荣兴	常州机电职业技术学院模具技术系	9	36	3.0	5.0