平行平板角位移干涉测量仪的优化设计

• 作者: 王向朝 郑德锋
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 优化设计 误差分析 角位移
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 422-426
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.2|TH744.3
• 字数: 3008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.03.025

摘要

提出一种可提高平行平板角位移干涉测量仪测量精度的优化设计方法.对角位移干涉测量系统进行了误差分析,讨论了影响角位移测量精度的主要因素.分析了在干涉仪光路中入射到平行平板上的初始入射角度、平行平板的折射率以及厚度等参数的选取对角位移测量精度的影响.结果表明,优化选取最佳的初始入射角度以及元件参数,并在干涉光路中附加引入一平面反射镜形成光程差放大系统,可实现的角位移测量精度达10-8 rad数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
2	郑德锋	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	5	61	5.0	5.0