离子束辅助沉积TiCN多层膜的研究

• 作者: 徐志潜 明建川 李刘合 王锦辉 过骐千 金杰
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束辅助沉积 晶态 多层膜
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 页码范围: 1019-1022
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 3016字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2007.12.015

摘要

利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多层TiCN膜.通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层晶态和非晶态的复合结构;检测到划痕仪划过的划痕十分平滑,显示出晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,结果表明膜层具有较低的摩擦系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李刘合	北京航空航天大学机械自动化学院	39	653	12.0	25.0
2	金杰		9	38	5.0	6.0
3	过骐千		3	16	2.0	3.0
4	王锦辉		4	20	3.0	4.0
5	徐志潜		2	14	2.0	2.0
6	明建川		2	14	2.0	2.0