稀土Ce2O3掺杂TiO2薄膜的结构和光学特性

• 作者: 李健 汪良 高燕
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空热蒸发 TiO2薄膜 Ce2O3掺杂 结构和光学特性
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 5095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.06.013

摘要

采用真空热蒸发法在玻璃、单晶硅衬底上制备Ce2O3掺杂TiO2薄膜,研究热处理和Ce2O3掺杂对薄膜性能的影响.结果显示,热处理可明显改善薄膜的结构和光学性能,Ce2O3掺杂可降低薄膜晶型转化温度.TiO2薄膜(玻璃衬底)经600℃热处理由锐钛矿转为金红石结构;当掺Ce2O3含量为5at%时热处理温度为500℃薄膜就已开始发生晶型转变.薄膜表面颗粒较均匀,存在程度不同的孔洞和颗粒聚集现象;掺Ce2O3后薄膜表面致密度明显增强.薄膜(玻璃衬底)的光学带隙从3.74 eV降至3.60 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学理工学院物理系	36	200	7.0	12.0
2	汪良	内蒙古大学理工学院物理系	3	15	2.0	3.0
3	高燕	内蒙古大学理工学院物理系	2	6	1.0	2.0