射频无电极放电氮气等离子体光源研究

• 作者: 张广秋 李朝阳 陈强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频无电极放电 等离子体光源 转换效率 预涂感光版
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 346-349
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 3053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.04.017

摘要

本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%.最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感光版(pre-sensitiveplate,PS版)进行了曝光,通过曝光前后PS版感光层颜色的光密度变化评价了感光效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理与材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	张广秋	北京印刷学院等离子体物理与材料研究室	32	119	6.0	9.0
3	李朝阳	北京印刷学院等离子体物理与材料研究室	16	28	3.0	4.0