激光抛光技术在光学加工中的应用与进展

• 作者: 张戈 朱海永 魏勇 黄凌雄 黄呈辉
• 来源期刊: 福光技术
• 关键词: 激光抛光 光学材料 表面处理
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 100
• 页数: 1页
• 语种: 中文

摘要

随着材料科学,尤其是材料表面科学的发展,人们对抛光技术的综合要求也越来越高,既要保证高质量的材料表面光洁度,又要兼顾低成本、高速率和高难度抛光.光学加工中常用的抛光技术越来越难以满足工业发展的需要.近年来出现的激光抛光技术,由于其独特的性质,引起了人们的兴趣和关注.激光抛光是制作平面度高、加工变形层很小,无擦痕的面加工工艺.由于是非接触式抛光,可运用计算机三维控制抛光具有非常复杂形貌的表面,实现材料的精密和微细抛光;其作用原理是激光与材料表面产生热作用和光化学作用的过程:热作用过程是连续激光辐照使材料的近表面层物质熔化而获得光滑平整的表面;光化学分解作用是,被抛光材料吸收短波长或超短脉冲激光光子能量后,材料中的化学键被打断或者晶格结构被破坏,材料中成分被剥离.只要材料的热物理性质好,都可用激光来进行抛光.激光抛光需要有适用波长、高光束质量的激光器及其配套系统.目前激光抛光还处于研究发展阶段,但由于具有提高标准件的生产效率,抛光过程可实现自动化,适合非球面和非回转光学表面的抛光、高精度的微细加工以及无需机械磨料和配合表面的抛光工具等优势,将会在未来的工业发展中发挥日益重要的作用,将有力推动激光精密加工技术和激光微细加工技术的更快发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张戈	中国科学院福建物质结构研究所	79	522	13.0	19.0
2	黄凌雄	中国科学院福建物质结构研究所	29	136	7.0	10.0
3	黄呈辉	中国科学院福建物质结构研究所	42	236	9.0	13.0
4	魏勇	中国科学院福建物质结构研究所	34	195	8.0	13.0
5	朱海永	中国科学院福建物质结构研究所	7	50	4.0	7.0