非平衡磁控溅射掺Ti类金刚石薄膜的结构分析

• 作者: 张碧云 聂朝胤 谢红梅
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 Ti掺杂类金刚石薄膜 微观结构 显微硬度 附着力
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 页码范围: 1207-1210
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 3361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2007.11.016

摘要

采用非平衡磁控溅射沉积技术在SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无氢Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜和无氢高纯类金刚石(DLC)薄膜,通过调节Ti靶的溅射功率使获得的Ti-DLC薄膜Ti含量(原子分数)为1.9%-34%.利用Raman分光光谱仪、XPS,XRD、显微硬度计及纳米划痕仪分析研究了Ti-DLC的组织结构、显微硬度及薄膜附着力.结果表明,利用非平衡磁控溅射得到的Ti-DLC薄膜,在Ti含量小于25%时,Ti-DLC薄膜仍具有类金刚石薄膜的sp2,sp3结构,但Ti的掺杂促进了sp3键向sp2键的转变.掺杂的Ti以TiC纳米晶的形式存在于非晶态的DLC中.掺杂Ti后薄膜的硬度明显降低,而薄膜附着力明显改善;但是当Ti含量超过3%后,薄膜附着力无明显变化,硬度逐渐回升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂朝胤	西南大学材料科学与工程学院	32	249	9.0	14.0
3	谢红梅	西南大学材料科学与工程学院	10	100	6.0	10.0
4	张碧云	西南大学材料科学与工程学院	4	61	3.0	4.0