多弧离子镀在不锈钢板上沉积TiN的均匀性研究

• 作者: 李保元
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 涂层均匀性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.004

摘要

本文对多弧离子镀在不锈钢板上沉积TiN涂层的均匀性进行了研究,分析了影响涂层均匀性的主要因素.结果表明,弧基距、磁场强度、气体压力及基片温度对涂层的均匀性起着决定性的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保元		1	1	1.0	1.0