基于Sigma-Delta技术的差分电容检测电路设计

• 作者: 万明亮 张卫平 陈文元 黄晓刚
• 来源期刊: 电测与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: Sigma-Delta MEMS 静电悬浮 微陀螺 闭环检测
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 电路、组件及其应用
• 页码范围: 59-61,58
• 页数: 4页
• 分类号: TM934.2
• 字数: 2007字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1390.2007.11.017

摘要

接口电路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一.本文对静电悬浮转子微陀螺的差分电容结构建立其简化数学模型,并结合Sigma-Delta技术的优点提出了一种新颖的闭环检测电路.该检测电路能够直接输出数字信号,系统稳定性好,对陀螺失效具有自检特性并且能够有效避免陀螺的锁住.与通常采用的调制解调方法相比,该检测电路大大节省了器件,因此非常适用于对微陀螺原型进行测试评估.对该检测电路的仿真结果表明,其灵敏度为2V/g,动态范围约为1g.