计算机在真空排气中的应用研究

• 作者: 米伦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机 程控排气 真空度 抗干扰
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 计算机在真空中的应用
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TP273|TN108
• 字数: 1278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.015

摘要

采用计算机, 对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程. 用计算机控制技术细化工艺控制量, 优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量; 程控系统设计合理, 操作简便,抗干扰能力强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	米伦	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	63	4.0	7.0