利用保偏光纤马赫-曾德(MZ)干涉仪测量薄膜材料电光系数

• 作者: 余金中 屠晓光 左玉华 王启明 赵雷 陈少武 陈平
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电光效应 保偏光纤 MZ干涉仪
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1012-1016
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 1116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.07.003

摘要

利用保偏光纤MZ干涉仪测量了光学各向异性薄膜材料的电光效应.与传统MZ干涉仪相比,该干涉仪中所有的部件都采用保偏光纤进行连接.光源采用一个偏振输出最大功率为10mW的DFB激光器,用以得到高的信噪比.用该激光器测量超晶格材料的电光系数,同时用GaAs,KTP和GaN材料作为对比材料.测量的电光系数和已有结果有较好的可比性.