微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响

• 作者: 冯飞 杨广立 熊斌 王跃林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 红外成像器件 热-机械灵敏度 机械特性 热振动噪声 机械稳定性 微机械
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 699-705
• 页数: 7页
• 分类号: TN214|TH703
• 字数: 3796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.05.013

摘要

研究了具有"双材料梁-微镜一体化"特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响.通过理论计算和ANSYS模拟,分析了器件的热-机械灵敏度,对器件的结构参数进行了优化,并得到其热-机械灵敏度为2.14×10-3 rad/K;从器件的频率和阻尼特性出发,研究了器件的机械特性对热振动噪声和机械稳定性能的影响.研究结果表明:绝热梁断裂所需冲击载荷为8 945 g;器件的工作气压确定在50～200 Pa时,其热机械噪声和外界机械振动引起的噪声对器件性能的影响可忽略.该器件基本满足红外成像阵列器件的高灵敏度、低噪声的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林		13	138	6.0	11.0
2	熊斌		4	17	3.0	4.0
3	冯飞		2	7	1.0	2.0