类金刚石膜的性能、制备与应用(一)

• 作者: 沈丽如 祝土富
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石(DLC)膜 制备方法 性能 应用
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 24-29
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 5824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.06.007

摘要

类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈丽如		52	377	11.0	16.0
2	祝土富		5	48	4.0	5.0