基于遗传算法的步进式扫描光刻机路径规划

• 作者: 吴运新 杨辅强
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 步进式扫描光刻机 遗传算法 路径规划
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 页码范围: 1545-1547
• 页数: 3页
• 分类号: TP391
• 字数: 2752字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2007.12.006

摘要

根据步进式扫描光刻机硅片曝光过程的特点,建立了光刻机路径规划问题的数学模型.采用遗传算法对光刻机路径规划模型进行了合理的规划.规划结果表明,规划后的扫描路径能有效地提高光刻机的生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
2	杨辅强	中南大学机电工程学院	7	27	3.0	4.0