脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜

• 作者: 刘波 吴一辉 张平 贾宏光 马波
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基 镍铁薄膜 脉冲电流 晶粒
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2232字
• 语种: 中文

摘要

应用脉冲电镀法在硅片上制备细晶粒镍铁合金薄膜,对电镀工艺参数与形成的沉积层的微观组织关系进行了探讨.通过改变脉冲电源的电参数来研究其对镀层结构和微观形貌的影响.运用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等实验手段对电镀层微观结构进行了观测与分析.研究表明,随着电流密度的增加与脉冲频率的加大,沉积层晶粒明显细化,致密度增大,使镀层质量得到很大的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一辉		13	103	5.0	9.0
2	张平		5	40	3.0	5.0
3	贾宏光		2	17	2.0	2.0
4	马波	长春理工大学理学学院	1	3	1.0	1.0
5	刘波		1	3	1.0	1.0