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Comparison of measurements and simulation results in 300 mm CZ silicon crystal growth
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稀有金属(英文版)
主办单位：
中国有色金属学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1001-0521
CN：
11-2112/TF
开本：
16开
出版地：
北京学院路2号
邮发代号：
创刊时间：
1989
语种：
eng
出版文献量（篇）
2804
总下载数（次）
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