分流法超高/极高真空校准装置性能研究

• 作者: 冯焱 孙海 张涤新 成永军 李得天 李正海 赵光平 邱家稳 郭美如
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 分流法 超高真空 极高真空 校准装置
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 真空校准
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 6005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.06.001

摘要

分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10-10 Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10-4～10-10)Pa,合成标准不确定度为1.5%～3.5%.