过硫酸氢钾复合盐与过硫酸钠在PCB微蚀刻中的对比研究

• 作者: 吴彩虹 宋海鹏 李沛弘 杨万秀
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 过硫酸氢钾复合盐 微蚀刻 过硫酸钠 PCB
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 78-80
• 页数: 3页
• 分类号: TG172
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2007.01.027

摘要

通过失重法进行微蚀速率测定,对过硫酸氢钾复合盐与过硫酸钠在PCB微蚀刻中的应用效果进行了对比研究.分析了SPS浓度、KMPS浓度对蚀刻速率的影响, 阐明了硫酸浓度、硫酸铜含量与KMPS、SPS蚀刻速率的各自关系.试验结果表明:过硫酸氢钾体系的性能优于过硫酸钠体系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴彩虹		1	11	1.0	1.0
2	李沛弘		2	15	2.0	2.0
3	杨万秀		2	15	2.0	2.0
4	宋海鹏		1	11	1.0	1.0