热超声倒装键合中换能杆末端多维振动的相关性研究

• 作者: 宋爱军 韩雷
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 物理学
• 关键词: 倒装键合 换能杆 相干分析 振动测试
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 305-312
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 3540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-310X.2007.05.009

摘要

换能杆末端的振动情况对于超声键合机理的研究有着重要意义;换能杆末端的实际振动模式直接影响着芯片键合的质量.利用高精度非接触式激光多普勒测振仪采集了换能杆末端俯仰、水平、轴向振动速度.用相干函数方法分析了3个方向的相互耦合关系.分别对换能杆末端有未安装劈刀的情况做了比较,得出了在换能系统工作频率附近,换能杆末端轴向振速与水平、俯仰振速的相关程度.这对实际键合中,换能系统末端的劈刀安装长度的选择以及换能杆工作频率的选择有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩雷	中南大学机电学院	78	614	14.0	20.0
2	宋爱军	中南大学机电学院	3	8	1.0	2.0