悬浮栅结构ISFET动态特性的HSPICE仿真

• 作者: 任振兴 夏善红 屈岚 汪祖民 韩泾鸿
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子敏场效应管 HSPICE 动态特性 悬浮栅
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学传感器
• 页码范围: 363-366
• 页数: 4页
• 分类号: TN386|TN402
• 字数: 2602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.114

摘要

通过对ISFET敏感机理的理论分析,根据表面基模型,建立了悬浮栅结构ISFET器件的HSPICE动态行为模型,对ISFET器件的动态特性进行仿真得到时间响应曲线,并探讨了薄膜等效电阻、薄膜等效电容、互连线寄生电容和寄生电阻等因素与动态特性中延迟时间和迟滞等不理想因素的关系,为ISFET/REFET差分结构集成传感器芯片设计提供理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿		8	41	2.0	6.0