基于LabView的调焦伺服控制系统

• 作者: 刘洋 熊木地 高嵩
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 二元光学激光直写设备 压电陶瓷 调焦系统 LabView
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 测试·封装·材料
• 页码范围: 188-189,192
• 页数: 3页
• 分类号: TP332
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2007.06.065

摘要

为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度,对光探头调焦系统进行了研究.提出一种应用LabView实现伺服调焦系统的方法.其中,详细介绍了光学临界角法检焦的实现原理,分析了在检焦过程中出现的探测器暗电流过大,杂散光干扰以及对称性差等问题.最后阐述了如何利用强大的图形化编程工具LabView实现数据的分析、计算及驱动PZT(压电陶瓷)的过程.整个系统经实地验证,取得了良好的效果,精度可达到0.2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊木地	大连海事大学信息工程学院光电研究所	19	67	4.0	7.0
2	高嵩	大连海事大学信息工程学院光电研究所	2	7	1.0	2.0
3	刘洋	大连海事大学信息工程学院光电研究所	20	182	7.0	13.0