Au-MgF2与Ag-MgF2靶材制备的实验研究

• 作者: 付兴国 唐亚陆 张辉 张鹏翔 陈亮维
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 金属材料 Au-MgF2 Ag-MgF2 PLD 烧结温度 MgO XRD检测
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.3+1|TG146.3+2
• 字数: 3111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0676.2007.02.007

摘要

Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法.文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法.通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏翔	昆明理工大学光电子新材料研究所	148	1293	19.0	28.0
2	张辉	昆明理工大学光电子新材料研究所	66	154	6.0	8.0
3	唐亚陆	昆明理工大学光电子新材料研究所	4	108	2.0	4.0
7	陈亮维		20	112	6.0	9.0
8	付兴国		4	22	2.0	4.0