采用激光制备毛细管电泳芯片微结构的研究

• 作者: 刘世炳 刘莹 吴坚 姚李英 陈涛
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 毛细管电泳芯片 微加工 准分子激光 聚合物
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN24|TN3
• 字数: 1594字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种采用248 nm准分子激光直写微加工系统制备聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基毛细管电泳芯片的新方法.主要对毛细管电泳芯片的样品池和微通道进行了实验研究.在19 kV,20 Hz,500个脉冲条件下,厚度为1.5 mm PMMA表面获得直径为1 mm、锥度为4.7 °的池;对宽度均为100 μm,深度不同的微通道底面进行了键合前后比较.最后在键合后宽度为100 μm、深度为30 μm的芯片上成功地完成了进样实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	北京工业大学激光工程研究院	31	375	10.0	19.0
2	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
3	刘世炳	北京工业大学激光工程研究院	33	139	7.0	10.0
4	吴坚	北京工业大学激光工程研究院	14	40	3.0	6.0
5	姚李英	北京工业大学激光工程研究院	11	86	5.0	9.0