氧化锌/银双层膜负反馈阴极电极的制备及性能研究

• 作者: 刘卫华 商世广 朱长纯 贺永宁
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 阴极电极 磁控溅射 碳纳米管 场发射
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 1470-1473,1478
• 页数: 5页
• 分类号: TF138|O484.11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987x.2007.12.019

摘要

提出了一种可显著改善碳纳米管(CNTs)场致发射性能的ZnO/Ag双层膜负反馈阴极电极的制备方法.在条形银电极上溅射沉积一定厚度的Zn膜,经热氧化和湿法刻蚀制备成ZnO/Ag双层膜电极.同单层的Ag或氧化铟锡电极相比,该电极不仅具有足够的负反馈电阻(限流电阻)阻止CNTs场发射中过流的发生,而且降低了条形阴极电极的线性电阻,确保了场发射的均匀性.当溅射沉积Zn膜的厚度从40 nm增到120 nm时,热氧化形成的ZnO由孤岛状的颗粒变为连续体的薄膜,ZnO/Ag双层膜电极的表面光洁度比单层的Ag电极有很大的提高,负反馈电阻层的电阻增大,负反馈的能力增强.CNTs薄膜阴极场发射特性曲线证明,ZnO/Ag双层膜电极能明显降低场发射电流的波动,有效提高器件的稳定性和寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱长纯	西安交通大学电子与信息工程学院	215	2372	22.0	41.0
2	刘卫华	西安交通大学电子与信息工程学院	33	304	9.0	16.0
3	贺永宁	西安交通大学电子与信息工程学院	58	265	9.0	12.0
4	商世广	西安交通大学电子与信息工程学院	6	10	2.0	3.0