MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析

• 作者: 丁桂甫 朱军 杨春生 蔡炳初 贾书海 赵小林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 微电磁驱动器 光开关 磨损
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TN36|TP271+.4
• 字数: 1744字
• 语种: 中文

摘要

光开关中运动元件的磨损对光学元件的位置精度有重要影响.介绍了MEMS微电磁驱动器磨损对光开关光学性能影响的理论分析,采用光纤光学理论计算了磨损所引起的光开关的附加插入损耗,结果表明,所采用的微电磁驱动器磨损引起的附加插入损耗小于0.02 dB,其磨损特性可以满足光通信开关的要求,实验结果证明了理论分析的正确性.此方法对光开关和MEMS微驱动器的研究具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱军	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	52	663	14.0	25.0
2	贾书海	西安交通大学理学院	42	262	9.0	14.0
3	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	49	769	15.0	26.0
4	杨春生	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	33	314	10.0	16.0
5	赵小林	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	56	549	13.0	20.0
6	丁桂甫	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	60	503	12.0	19.0