气囊气缸式紫外纳米压印系统的设计

• 作者: 司卫华 董晓文 顾文琪
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 紫外 光学系统
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 676-679,684
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 3732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.05.019

摘要

介绍了紫外纳米压印技术原理和自主研发的压印系统.设计了一种利用气囊气缸的新型找平装置,并描述了该装置的原理.研制了相应的光学系统,着重讨论了光学系统的设计和调整.最后,通过使用该系统成功制备了具有100 nm特征尺寸的纳米结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0
2	董晓文	中国科学院电工研究所	10	46	4.0	6.0
6	司卫华	中国科学院电工研究所	9	46	4.0	6.0